SENS4真空計(jì)VPM-17 TriCAP

VPM-17 TriCAP ATM 傳感器為廣泛的真空應(yīng)用建立了一體化測(cè)量解決方案的新標(biāo)準(zhǔn)。與其他真空計(jì)不同的是，它結(jié)合皮拉尼熱損耗測(cè)量（低至 1E-6 mbar），提供從 5.0E-3 到 1333 mbar 的高性價(jià)比氣體獨(dú)立測(cè)量。在氣體成分或類型可能發(fā)生變化的真空應(yīng)用中，傳統(tǒng)的依賴氣體的皮拉尼真空計(jì)會(huì)導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果與實(shí)際壓力產(chǎn)生偏差。然而，TriCAP ATM 傳感器采用了電容式膜片真空計(jì) (CDG) 傳感器，由于不依賴于氣體成分，因此即使氣體性質(zhì)發(fā)生變化，也能確保測(cè)量精度。集成的熱損耗 MEMS Pirani 傳感器將測(cè)量范圍擴(kuò)展至 1E-6 mbar，并提供新穎的電容式壓力計(jì)自動(dòng)調(diào)零功能，從而減免了傳統(tǒng)電容式膜片真空計(jì)手動(dòng)調(diào)零的常見(jiàn)需求。TriCAP ATM 是一款新型多傳感器真空計(jì)，是傳統(tǒng)皮拉尼真空計(jì)應(yīng)用的性能升級(jí)之選，也是在單獨(dú)使用電容式壓力計(jì)和皮拉尼真空計(jì)的應(yīng)用中成本優(yōu)化的一體化解決方案。

測(cè)量范圍為 1×10^-6 至 1333 mbar（7.5×10^-7 至 1000 托）

與氣體無(wú)關(guān)的傳感器，測(cè)量范圍從 5×10^-3 到 1333 mbar

超寬量程高性能 MEMS 皮拉尼傳感器

堅(jiān)固耐用的陶瓷電容隔膜真空計(jì)   

環(huán)境壓力參考輸出信號(hào)

大氣開(kāi)關(guān)功能

可安裝在任何方向而不影響性能

可編程電壓輸出信號(hào)，可與其他供應(yīng)商仿真

數(shù)字 RS-232 或 RS-485 接口

用于真空過(guò)程控制的三個(gè)固態(tài)設(shè)定點(diǎn)

可直接替換 MKS 901P Loadlock 傳感器

緊湊型多傳感器解決方案

1 RS-232 發(fā)送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 電源電壓 12-30 VDC

4 電源電壓 -（返回）

5 模擬電壓信號(hào) +

6 模擬電壓信號(hào) - （返回）

7 繼電器 1 NO（常開(kāi)觸點(diǎn)）

8 繼電器 1 通用

9 繼電器 1 NC（常閉觸點(diǎn)）

10 繼電器 2 NC（常閉觸點(diǎn)）

11 繼電器 2 共用

12 繼電器 2 NO（常開(kāi)觸點(diǎn)）

13 繼電器 3 NC（常閉觸點(diǎn)）

14 繼電器 3 共用

15 繼電器 3 NO（常開(kāi)觸點(diǎn)）

編程設(shè)備

RS-232 轉(zhuǎn) USB，15 針 HD D-sub，電源（90-230VAC）PRG-WPRS2-15DS-01

RS-485 轉(zhuǎn) USB，15 針 HD D-sub，電源（90-230VAC） PRG-WPRS4-15DS-01

RS-232 USB 編程器，1.5 米電纜 PRG-RS232-DS15 RS-232

RS-485 USB 編程器，1.5 米電纜 PRG-RS485-DS15 RS-485

校準(zhǔn)證書(shū)

DAkkS 實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可的校準(zhǔn)證書(shū)。cal-vpm17-dakss

電纜

15 針 HD D-sub 母頭至 15 針 D-sub 公頭，帶 3 m 電纜 CAB-F15DSM15DS-003

15 針 HD D-sub 母頭轉(zhuǎn) 15 針 D-sub 公頭，帶 5 米電纜 CAB-F15DSM15DS-005

15 針 HD D-sub 母頭轉(zhuǎn) 15 針 D-sub 公頭，帶 10 m 電纜 CAB-F15DSM15DS-0105

產(chǎn)地：丹麥

測(cè)量范圍：1×10^-6 至 1333 mbar（7.5×10^-7 至 1000 托）

測(cè)量原理 1×10^-6 至 1×10^-3 mbar：MEMS 皮拉尼熱導(dǎo)率

測(cè)量原理 1×10^-3 至 4.99×10^-3 mbar：MEMS 皮拉尼/CDG 混合讀數(shù)

測(cè)量原理 5.0×10-3 至 3.99 mbar：電容式隔膜真空計(jì) (CDG)

測(cè)量原理 4 至 6 mbar：混合 MEMS 壓電/CDG

測(cè)量原理 6 至 1333 mbar：MEMS 壓電電阻膜片

精度 1×10^-5 至 9.99×10^-5 mbar：讀數(shù)的 25 %

精度 1×10^-4 至 9.99×10^-3 mbar：讀數(shù)的 5 %

精度 1E-2 至 800 mbar：讀數(shù)的 0.5 %

精度 800 至 1099 mbar：讀數(shù)的 0.25 %

精度 1100 至 1200 mbar：讀數(shù)的 0.5 %

氣壓測(cè)量范圍：300 至 1200 mbar

氣壓精度：+/- 0.5 mbar

大氣參考?jí)毫敵龇秶?1333 至 + 1333 mbar

真空溫度傳感器范圍：-20 至 + 85 ℃

真空溫度傳感器精度：+/- 1.5 ℃

傳感器溫度傳感器范圍：-20 至 + 85 ℃

傳感器溫度傳感器精度：+/- 1.5 ℃

模擬輸出分辨率：16 位 (150 µV)

模擬輸出更新率：124 Hz

響應(yīng)時(shí)間：< 20 ms

溫度補(bǔ)償：+10 至 +50 ℃

固態(tài)繼電器設(shè)定點(diǎn)范圍（Abs值）：5×10^-6 至 1333 mbar（3.75×10^-6 至 1000 托）

固態(tài)繼電器設(shè)定點(diǎn)范圍（相對(duì)大氣壓）：-1,100 至 + 500 mbar（-770 至 +375 托）

固態(tài)繼電器觸點(diǎn)額定值：50 V、100 mArms / mADC

固態(tài)繼電器觸點(diǎn)耐久性：無(wú)限制（無(wú)機(jī)械磨損）

固態(tài)繼電器認(rèn)證：UL 認(rèn)可： 文件 E76270；CSA 認(rèn)證： 證書(shū) 1175739；EN/IEC 60950-1 認(rèn)證

工作環(huán)境溫度：-20 至 +50 ℃

介質(zhì)溫度：-20 至 +50 ℃

存儲(chǔ)環(huán)境溫度：-20 至 +80 ℃

烘烤溫度（非工作）：+80 ℃

Max介質(zhì)壓力：4 bar壓力_Abs

安裝位置：任意

防護(hù)等級(jí)，EN 60529/A2:2013：IP40

濕度，IEC 68-2-38：98 %，無(wú)冷凝

電源電壓：12 至 30 VDC

功耗：350 mW（Max值）

反限性保護(hù)：是

過(guò)壓保護(hù)：是

內(nèi)部保險(xiǎn)絲：100 mA（可熱恢復(fù)）

外殼：SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁 6061

真空工藝法蘭（介質(zhì)潤(rùn)濕）：SS 1.4307 / AISI 304L

工藝泄漏密封性：<1-10^-9 mbar-l/s

符合認(rèn)證CE：EMC 指令 2014/30/EU

符合 RoHS：歐盟指令 2015/863

PVD 涂層、凍干終點(diǎn)檢測(cè)、負(fù)載鎖定控制、熔爐熱處理、皮拉尼校準(zhǔn)、質(zhì)譜儀、掃描電子顯微鏡