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ENTEGRIS壓力傳感器4210100GF2B12BP1U3

無論是自動化、過程控制還是保障問題都需要壓力測量,儀器須清潔、準確、可靠。為滿足半導體行業(yè)的需求,Entegris 將電子傳感技術與高純度材料相結合,創(chuàng)造出可更好地控制過程變量的產品。NT 壓力傳感器...

產品介紹

無論是自動化、過程控制還是保障問題都需要壓力測量,儀器須清潔、準確、可靠。為滿足半導體行業(yè)的需求,Entegris 將電子傳感技術與高純度材料相結合,創(chuàng)造出可更好地控制過程變量的產品。NT 壓力傳感器不含任何可能污染工藝的活動部件或填充液。非金屬傳感器的潤濕部件由 PTFE 和其他高純度含氟聚合物組成。標準電氣連接采用 FEP 護套尾纖,因此傳感器可抵御惡劣的化學環(huán)境和外部噴淋。這些傳感器采用非金屬壓力傳感技術,測量準確可靠。所有產品均在出廠前進行校準和檢驗,無需進行現場校準或調整,從而降低安裝速度。標準電子輸出可與 PLC、控制系統和電子顯示器輕松集成。

性能特點

在高純度應用、腐蝕性化學品和 CMP 泥漿中提供可靠的壓力測量

出廠前經過完整的功能測試,精度為滿量程的 1 %

無活動部件或填充流體,降低污染可能性

流通設計很大限度地減少了死體積,降低了污染可能性

適用于高純度應用的 PTFE、PFA、CTFE 和 Perfrez 潤濕表面

符合行業(yè)標準的 PrimeLock 和 Flaretek 擴口連接可減少夾帶區(qū)域、Min占地面積、提供系統設計靈活性并簡化安裝

選型指南

技術參數

產地:美國

主體材質:PTFE

傳感器接口材質:PFA 或 CTFE

主密封材質:Perfrez

非潤濕部件材質:聚丙烯、聚乙烯、氟橡膠、PVDF(除上述材料外)

壓力范圍:0 至 207 kPa (0 至 30 psig);0 至 414 kPa (0 至 60 psig);0 至 690 kPa (0 至 100 psig)

過壓限制:滿量程范圍或接頭Max額定壓力的 150 %

工藝溫度:10 至 65 °C (50 至 149 °F);65 至 95 °C (149 至 203 °F)

工藝連接選項

Flaretek 卡套管接頭:1⁄4 ", 3⁄8 ", 1⁄2 ", 3⁄4 ", 1 "

PrimeLock 管接頭:1⁄2 "、3⁄4 "、1 "

超 300 型支柱管接頭:1⁄4 "、3⁄8 "、1⁄2 "、3⁄4 "、1 "

電氣輸入:24 VDC (12 至 30 VDC 輸入電壓)

電氣輸出:4 至 20 mA, 0 至 5 VDC, 0 至 10 VDC

參考精度:±1 % 滿量程(包括線性、滯后和重復性的綜合影響)

電氣外殼:IP 54

符合認證:CE

產品尺寸

產品應用

化學品和去離子水分配、過濾器壽命監(jiān)測、再循環(huán)回路中的背壓、使用點分配、工具優(yōu)先級


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