ENTEGRIS溶氧傳感器DPAAAHEA24W

光學(xué)監(jiān)控解決方案，用于檢測和監(jiān)控化學(xué)鍍應(yīng)用中的低溶解氧水平 。化學(xué)電鍍工具和電鍍槽中溶解氧的存在給工藝化學(xué)帶來了巨大挑戰(zhàn)。不受控制的溶解氧水平會(huì)導(dǎo)致反應(yīng)率降低和觸點(diǎn)腐蝕加劇。為了滿足這一重要的工藝要求，我們推出了 InVue 溶氧傳感器，這是一種新型的、基于光學(xué)的高靈敏度發(fā)光體（傳感器），專門針對(duì)高純度、腐蝕性化學(xué)鍍工具和鍍液應(yīng)用。

利用成熟的發(fā)光和檢測技術(shù)，InVue 溶解氧傳感器能持續(xù)測量溶解氧水平，并將對(duì)化學(xué)電鍍應(yīng)用的干擾降低。InVue 傳感器在 PTFE 外殼中使用清潔的硅樹脂濕膜，可監(jiān)測金屬活性電鍍化學(xué)反應(yīng)中的溶解氧水平。這可以提高工藝產(chǎn)量，延長工具和工藝化學(xué)劑的使用壽命，并降低運(yùn)營成本。InVue 傳感器還有可能為下一代 20 nm以下的前端生產(chǎn)線 (FEOL) 和后端生產(chǎn)線 (BEOL) 提供類似的優(yōu)勢。

高靈敏度溶氧發(fā)光體

數(shù)字報(bào)警輸出，可在發(fā)光體壽命結(jié)束時(shí)提前顯示

連續(xù)模式操作

用于校準(zhǔn)的 GUI 軟件

不消耗氧氣

兩個(gè)模擬輸出

濃度：快速響應(yīng)，可進(jìn)行準(zhǔn)確的濃度監(jiān)測

溫度：集成溫度監(jiān)測和實(shí)時(shí)補(bǔ)償功能

結(jié)構(gòu)緊湊，安裝空間有限

二次密封設(shè)計(jì)，提高保障性

直通流道

產(chǎn)地：美國

流體部件本體材質(zhì)：聚四氟乙烯

發(fā)光體材質(zhì)：硅橡膠

O 形圈材質(zhì)：Perfrez PXC Ultra

非浸濕部件材質(zhì)：聚丙烯、PVDF、Santoprene 護(hù)套電纜、Viton、涂層 SST 緊固件

工藝溫度：15 至 60 °C（59 至 140 °F）

工作壓力：0 至 276 kPa (0 至 40 psig)

范圍：0.02 至 10 ppm，15 °C (59 °F)

濃度分辨率：± 0.015 ppm

電氣輸入：24 VDC

電氣輸出：兩個(gè) 0 至 5 V 輸出，一個(gè)用于濃度輸出，一個(gè)用于溫度輸出；單個(gè)數(shù)字輸出，報(bào)警時(shí)從高電平 (5 V) 切換到低電平 (0 V)

可連續(xù)測量以下應(yīng)用中的溶氧水平：光刻化學(xué)鍍、金屬反應(yīng)電鍍化學(xué)