ENTEGRIS凈化器PS2-GC50-R

去除氮氣和甲烷雜質(zhì)，實現(xiàn)氬氣、氦氣、氙氣、氮氣和氫氣的使用點凈化。GateKeeper 加熱捕集器 (HGU) 是需要去除 CH₄ 或 N₂ 雜質(zhì)的使用點凈化的理想解決方案?？蓛艋臍怏w包括 Ar、He、Xe、N₂ 和 H₂。

加熱獲取器技術(shù)可與雜質(zhì)形成不可逆的結(jié)合，并將雜質(zhì)去除到亞ppb級。與僅依靠表面吸附的環(huán)境凈化技術(shù)不同，加熱獲取器技術(shù)利用了整個材料體積，因此雜質(zhì)容量更大，凈化器壽命更長

使用點 (POU) 氣體凈化可確保工藝性能的一致性和可重復性，將關(guān)鍵工藝區(qū)域與室內(nèi)氣體分配系統(tǒng)隔離，并防止氣體純度下降和交叉污染

能完整地去除稀有氣體、氮氣 (N₂) 和氫氣 (H₂) 中的雜質(zhì)

可靠性高、成本低、性能好

加熱的獲取器材料可與任何氧化物、碳化物和氮化物雜質(zhì)形成不可逆的化學鍵

優(yōu)化設(shè)計可提供亞ppb 級性能，優(yōu)于氣瓶或液體來源的氣體

占地面積小，流速高達 150 slpm（9 Nm³/hr）。

PS2-GC50: 典型流速 0 - 0.2 slpm

PS3-MT3: 典型流速 0.2 - 3 slpm

PS4-MT3 和 PS4-MT15：典型流速 3 - 30 slpm

PS4-MT50: 典型流速 30 - 100/150 slpm

產(chǎn)地：美國

Max流速：0.2 slpm（氮氣、氦氣、氬氣）

出口氣體溫度：< 50 °C (122 °F)

平均功耗：< 50 W

金屬顆粒過濾器：20 μm

尺寸（高×寬）：23 × 10 cm（9 × 4 英寸）

重量：1.8 kg（4 磅）

標準配置：1/4 英寸 VCR 接頭

可選功能：110 - 120 VAC 或 220 - 240 VAC

去除雜質(zhì)：H₂O、O₂、CO、CO₂、CH₄、其他碳氫化合物、H₂、N₂

氮氣出口純度：<10 ppb；<50 ppb（CH₄）

稀有氣體出口純度：<10 ppb

適用于氣相色譜儀 (GC) 和其他低流量分析應(yīng)用的小型經(jīng)濟型凈化器

氣相沉積工藝：MOCVD、PVD、CVD、外延、光刻技術(shù)、計量學、研發(fā)實驗室實驗、發(fā)光二極管、拉晶、植入、蝕刻、擴散和氧化過程、退火、光纖、分析、太陽能和光伏