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ENTEGRIS過程監(jiān)控器SemiChem APMi 200

以耐用、可靠的在線平臺提供實驗室質(zhì)量測量。Entegris 是設計和生產(chǎn)用于半導體制造工藝中的化學機械研磨 (CMP) 漿料和配制清洗劑的高精度分析儀器的市場供應者。我們的技術旨在確保復雜混合化學藥劑...

產(chǎn)品介紹

以耐用、可靠的在線平臺提供實驗室質(zhì)量測量。Entegris 是設計和生產(chǎn)用于半導體制造工藝中的化學機械研磨 (CMP) 漿料和配制清洗劑的高精度分析儀器的市場供應者。我們的技術旨在確保復雜混合化學藥劑的準確一致性,并實現(xiàn) CMP 和配制清洗工藝的高產(chǎn)率。我們的 SemiChem 高等級工藝監(jiān)控器(APM)是一種濕化學監(jiān)控系統(tǒng),可自動采樣、分析和報告關鍵工藝的定量化學濃度。完整的在線化學監(jiān)測可實時修正槽液成分,從而穩(wěn)定控制工藝條件。該系統(tǒng)可提供化學濃度數(shù)據(jù)。當變化立即顯現(xiàn)時,可能對產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生負面影響的變化可以迅速得到糾正,從而幫助滿足零缺陷容忍度和更高產(chǎn)品產(chǎn)量的要求。

性能特點

提供業(yè)界準確的監(jiān)測,以保持工藝化學成分和完整性

在產(chǎn)品質(zhì)量下降之前檢測揮發(fā)性化學物質(zhì)的工藝偏差

將實驗室技術轉化為工藝,實現(xiàn)快速準確的工藝控制

平均故障間隔時間 (MTBF) > 8500 小時

提供化學濃度數(shù)據(jù),使?jié){料/化學品分配系統(tǒng)能夠提供準確的化學濃度

可選功能與配件

多個采樣點、附加 5 毫升數(shù)字滴定管、附加傳感器、聯(lián)鎖、試劑低濃度檢測

技術參數(shù)

產(chǎn)地:美國

分析方法:電位計法、標準添加法、光度法

電位計精度:顯示值的± 0.2

標準添加精度:± 2.0 %示值

電位計精度:± 0.2 % 相對誤差

標準添加精度:± 2.0 % 相對誤差

測量時間:> 5 分鐘/分析(視應用而定)

校準間隔:啟動時

樣品消耗量:< 5 mL/次分析

樣品量:0.05 至 5 mL(根據(jù)應用而定)

樣品溫度:高達 93 °C (200 °F)

耗水量:< 1000 mL/分析

樣品入口/回流:<207 kPa (30 psi),0.5 L/min;1/4" 外徑擴口接頭,1" FPT 密封接頭

去離子水:138 至 276 kPa (20 至 40 psi);2.0 L/min;1/4" 外徑擴口接頭

CDA:414 至 552 kPa(60 至 80 psi);1/4 英寸外徑快速接頭

排水口 工藝:3/4 英寸 NPT 重力排水口;櫥柜:1/2 英寸 NPT 重力排水口

電源:110/220 VAC,50/60 Hz,1/0.5 A 現(xiàn)場可切換

排氣:1-7/8" OD @ 17 CFM

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應用

用于控制金屬 CMP 濃度、在微電子環(huán)境中的所有濕化學應用中均表現(xiàn)良好,包括:銅、鎢、阻擋層和金屬 CMP、配方清潔、DSP+、濕蝕刻、氮化物蝕刻、PAN 蝕刻、Piranha 蝕刻、高頻、廢水

 


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