ENTEGRIS比例控制閥6300CV7F6B12K

在 CMP 漿料應用中實現(xiàn)線性、可靠的比例控制，NT6300 型比例控制閥專為高純應用而開發(fā)。該閥與高腐蝕性工藝兼容，專為 CMP 漿料應用而設計，是解決當今流量控制需求的適配選擇。該閥的潤濕件采用 PFA 和 PTFE 材料，非潤濕件采用惰性材料，可抵御惡劣的化學環(huán)境和外部噴淋。采用新型電機驅(qū)動技術，內(nèi)部電子元件可控制閥門步進電機的所有方面。閥門的驅(qū)動采用 Entegris 先進的算法設計，以保持所需的設定點。

PFA 和 PTFE 潤濕表面，具有廣泛的化學兼容性，適用于高純度應用

非金屬外部組件，耐腐蝕性延長了產(chǎn)品使用壽命

雙隔膜結構，防止電機和電子元件接觸化學品。保護工藝免受污染

優(yōu)化的閥座和隔膜設計，很大限度地減少死體積和流體剪切力，實現(xiàn)從全關到全開的可靠控制

占地面積小，便于在空間有限的地方安裝

電機驅(qū)動技術，提供平穩(wěn)、準確的線性控制

產(chǎn)地：美國

流體部件本體材質(zhì)：PFA

隔膜材質(zhì)：PTFE

非潤濕部件材質(zhì)：聚丙烯、氟橡膠、PVDF

響應時間：5 至 95 % 滿刻度時< 4 秒

壓力范圍：100 至 414 kPa（-14.5 至 60 psig）

過壓限制：689.5 kPa (100 psig)

過程溫度：10 至 65°C (50 至 149°F)

電氣輸入：24 VDC ± 10 %，穩(wěn)壓

設定點輸入信號：4 至 20 mA、0-10 VDC、0-5 VDC；還包括單獨的歸位線

外殼：NEMA 5 / IP 54

連接類型：Flaretek 管接頭和 Super 300 型支柱管接頭

符合認證：CE

關鍵分配、化學品添加和混合的控制、溫度、壓力、流量、電導率等任何獨立模擬傳感器的閉環(huán)控制