ENTEGRIS流量控制器6550

Entegris 采用創(chuàng)新的流量控制技術解決當今流量控制的難題。InVue 集成流量控制器 (IFC) 6550 型專為大宗化學品流量控制而設計。IFC 6550 型的設計流量為 60、90 或 120 L/min，是實驗室散裝化學品輸送應用和需要大流量的液體流體處理系統(tǒng)的適配之選。集成式流量控制器采用成熟可靠的差壓流量測量技術和先進的閉環(huán)過程控制?？梢曋甘酒骺蔀轭A防性維護、故障排除和報警條件提供診斷，使用戶能夠集成更多的過程功能。InVue 6550 型集成流量控制器設計用于超純液體化學品、去離子水和 CMP 泥漿應用。它還設計用于有效控制產生氣泡的介質。閥座和隔膜的設計大限度地減少了死體積和流體剪切力，從而降低了工藝污染的可能性。IFC 6550 型的潤濕部件采用氟化材料，是保護化學完整性的選擇。此外，耐化學腐蝕的非潤濕部件在惡劣的化學環(huán)境中也有良好的表現。InVue 6550 型集成流量控制器采用獨特的 PTFE 閥膜片，可實現大流量流體控制。利用電動閥和流量計技術，封裝的內部電子元件可控制流量控制器的所有方面。該產品由設定點信號（例如 4 - 20 mA、0 - 10 VDC）激活，以將流體流量保持在所需的設定點。

內置壓力傳感器，可提供更多過程信息

經證實，對產生氣泡的介質具有高測量和控制能力

設計堅固，具有穩(wěn)定性和長期可靠性

精度高，適用于關鍵分配應用

快速響應，實現準確的分配率

LED 狀態(tài)和離散報警輸出，用于視覺和電子診斷

可按任何方向安裝

14G02：14 針配接 Turck 連接器，帶 2 米（6.5 英尺）PVC 護套電纜

14G05：14 針配接 Turck 連接器，帶 5 米（16.4 英尺）PVC 護套電纜

14G10：14 針配接 Turck 連接器，帶 10 米（32.8 英尺）PVC 護套電纜

產地：美國

閥體材料：PTFE , PFA

膜片材料：PTFE

傳感器接口材料：CTFE 或 PFA

主 O 形圈材料：Perfrez PXC Ultra

非潤濕部件材料：聚丙烯、PVDF、Viton、聚氨酯和 PVC（除上述材料外）

工作范圍：10 % 至滿量程流量

流量控制精度：± 全量程的 1 %（使用 23 °C [73 °F] 的去離子水校準）

重復性：± 0.5 % 滿量程

壓力測量輸出：0 - 689 kPa (0-100 psig)

壓力精度：± 全量程的 1 %

工作壓力：103 - 552 kPa (15 - 80 psig) (60 L/min, 90 L/min)；172 - 552 kPa (25 - 80 psig) (120 L/min)

Min壓差要求：≥ 15 psi，（60 L/min，90 L/min）；≥ 25 psi，（120 L/min）

輸出信號：兩個 4 - 20 mA 電氣隔離輸出，一個用于流量，一個用于壓力

響應時間：≥ 15 psid 時<3 秒（60 L/min，90 L/min）；≥ 25 psid 時<3 秒（120 L/min）

Max非工作超壓：827 kPa (120 psig)

工藝溫度：10 - 65 °C (50 - 149 °F)

電氣輸入：24 VDC (± 10%) @ 1.2 A

設定點輸入信號：4 - 20 mA、0 - 10 VDC

外殼：IP 54

重量：3.2 kg（7 磅）

符合認證：CE

大流量應用，如批量輸送或工具液體分配、關鍵分配應用、化學品添加和混合、按需化學混合