ENTEGRIS噴點系統(tǒng)IGHMV20PHKP3

IntelliGen HMV20 噴點系統(tǒng)以兩級噴點技術(shù)的成熟性能為基礎(chǔ)，結(jié)合我們創(chuàng)新的 Connectology 過濾器設(shè)計，將高純度過濾與中高粘度液體（300 至 1,000 cP）的可重復(fù)噴點集成在一起。我們的 Optimizer ST（OF 型）過濾器可輕松滑入系統(tǒng)隔室，使流體以設(shè)定截留率的流速通過過濾器，從而提高產(chǎn)量并延長正常運行時間。

集成的雙壓力傳感器簡化了配方編程和過濾器填料，在直觀的編程界面中提供用戶友好的分配診斷和實時警報。該點膠系統(tǒng)包括多項診斷功能（點膠、周期時間和 ΔP 確認(rèn)），可在發(fā)生部分點膠或點膠失敗時發(fā)出通知，有助于很大限度地減少因涂層問題造成的代價高昂的晶片缺陷。 我們的 IntelliGen HMV20 點膠系統(tǒng)設(shè)計緊湊、性能高、具有交互式診斷功能，是確保點膠重復(fù)性、延長過濾器使用壽命和提高回報的明智之選。

與 Connectology 過濾器設(shè)計相結(jié)合，兩級分配技術(shù)將高純度過濾與可重復(fù)分配融為一體，可靠分配中高粘度流體（300-1,000 cP），而不會犧牲過濾性能

實時交互式確認(rèn)工具簡化了系統(tǒng)配方和過濾器填料編程，并允許訪問 SPC 數(shù)據(jù)，以更好地參與工藝過程

直觀的編程界面提供用戶友好的確認(rèn)工具，并提供實時警報，有助于大限度地減少代價高昂的晶片缺陷

產(chǎn)地：美國

與介質(zhì)接觸的表面：PTFE、改性 PTFE、Kalrez 材料

體積：0.1-20.0 mL，增量為 0.001 mL

分配速度：0.1-3.0 mL/s，增量為 0.01 mL/s

重復(fù)性：< 0.03 mL 3 sigma

粘度范圍：00-1,000 cP

Max分配設(shè)計壓力：1 兆帕（150 psi）

填充、過濾、排氣和吹掃速率：0.1 至 3.0 mL/s，增量為 0.01 mL/s

排氣頻率：自動排氣或 1-10,000 次分配循環(huán)

機械連接類型：可互換的 Super 300 型 Pillar、Super 型 Pillar 接頭

排氣管外徑：6.35 mm（0.25 英寸），9.53 mm（0.375 英寸）；內(nèi)徑：3.97 mm（0.156 英寸），6.35 mm（0.025 英寸）

入口和出口管道外徑：9.53 mm（0.375 英寸）；內(nèi)徑：6.35 mm（0.25 英寸）

過濾器：Optimizer ST 過濾器 (OF)

入口氣體類型：調(diào)節(jié) N₂ 或 CDA

真空：- 68 kPa (20 " Hg)

額定電流：1.25 A

輸入電壓（系統(tǒng)）：24 VDC

串行通信：取決于接口模塊

并行通信：觸發(fā)和確認(rèn)

尺寸（高×寬×深）：303.8 × 104.9 × 245.4 mm（11.96 × 4.13 × 9.66 英寸）

重量：約 9.6 千克（21.2 磅）     

符合認(rèn)證：CE     

環(huán)境：限室內(nèi)使用

海拔高度：< 2,000 米

環(huán)境溫度：5 至 40 °C (41 至 104 °F)

中高粘度（300 - 1,000 cP）POU 光化學(xué)分配裝置