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ENTEGRIS吊艙9700-4151-01

A200 SMIF pod 可在運(yùn)輸和存儲(chǔ)過程中保護(hù) 200 mm 晶圓,從而為半導(dǎo)體制造商提供污染控制。優(yōu)良的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和除氣性能提供了一種環(huán)保平穩(wěn)的晶圓容器,可為晶圓保持良好的微型環(huán)境,并具有固有的...

產(chǎn)品介紹

A200 SMIF pod 可在運(yùn)輸和存儲(chǔ)過程中保護(hù) 200 mm 晶圓,從而為半導(dǎo)體制造商提供污染控制。優(yōu)良的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和除氣性能提供了一種環(huán)保平穩(wěn)的晶圓容器,可為晶圓保持良好的微型環(huán)境,并具有固有的自動(dòng)化兼容性。

性能特點(diǎn)

結(jié)構(gòu)材料可實(shí)現(xiàn)低顆粒生成、低放氣和長(zhǎng)使用壽命

兼容清洗

堅(jiān)固耐用的聚碳酸酯外殼可經(jīng)受反復(fù)和自動(dòng)處理

聚碳酸酯靜電消散盒門大大降低了 ESD 損壞的可能性

盒體固定裝置與自動(dòng)清洗系統(tǒng)兼容,降低了擁有成本

選型指南

可選功能與配件

外殼顏色:琥珀色、綠色、透明

標(biāo)識(shí):條形碼和字母數(shù)字字符標(biāo)簽;彩色手柄;激光打標(biāo)條形碼和字母數(shù)字字符;卡套和旅行標(biāo)簽

手柄:頂部自動(dòng)化手柄;攜帶手柄

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國(guó)

DOME 顏色:透明

燈罩:四代

手柄顏色和類型:黑色,Ergo 手柄

晶圓固定器類型:Gen IV 晶圓鎖組件 - 被動(dòng)式

圓頂接口:無(wú)

門類型:A200

磁帶接口:寬導(dǎo)軌

磁帶固定器:透明 PC (CS02)

門墊片:PBT 標(biāo)準(zhǔn)

底座尺寸:283 x 292 mm(11.125 x 11.5 英寸)

吊艙高度(不含頂部把手):254 mm(10.0 英寸)

重量(空吊艙):2.59 kg(5.7 磅)

重量(吊艙外殼):1.62 kg(3.6 磅)

重量(吊艙門):0.87 kg(1.9 磅)

外殼材料:聚碳酸酯

門材料:碳填充聚碳酸酯

晶片鎖和框架材料:聚碳酸酯

卡匣固定裝置材料:填充聚四氟乙烯

卡匣導(dǎo)軌材料:聚碳酸酯

符合標(biāo)準(zhǔn):SEMI 19.4

產(chǎn)品應(yīng)用

在 200 mm晶圓運(yùn)輸和儲(chǔ)存過程中為半導(dǎo)體制造商提供污染控制:未污染的晶圓運(yùn)輸、環(huán)保的晶圓儲(chǔ)存

 


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