PAC加熱管掃描儀OptiReader

分析原理

多波長橢圓偏振法（MWETR）

ASTM D3241-18

附錄A4中批準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)方法

沉積厚度范圍

0至500 nm

沉積量范圍

0至0.5 mm3

重復(fù)性

<2 nm

重現(xiàn)性

<4 nm

測量點(diǎn)數(shù)

1200

環(huán)境溫度

10°至35°C / 50°至95°F

海拔

小于2000公噸。

測試樣品

普通/智能加熱管

測試時間

<10分鐘

RFID閱讀器

是

用戶界面

10.8“彩色觸摸屏

樣品加載

加熱器管插件

測試結(jié)果

加熱器管插件

樣品編號

通過/失敗結(jié)果

沉積厚度

存款量

2D和3D色彩圖

特殊功能

通過/失敗指示，事件日志

內(nèi)部存儲器

多達(dá)2000個結(jié)果

校準(zhǔn)/驗(yàn)證日志

自定義驗(yàn)證范圍選擇

密碼保護(hù)

是

輸出

3個USB，1個以太網(wǎng)LAN

網(wǎng)絡(luò)打印機(jī)連接

是

尺寸（寬x高x厚（英寸/厘米））

儀器：10 x 14 x 16.5英寸/ 25.4 x 35.5 x42厘米

板條箱：29 x 34 x 29英寸/ 73.6 x 86.3厘米。

重量（磅/千克）

僅儀器：33磅。 / 15公斤。

裝箱的儀器

130磅 / 59公斤

電氣（電壓/頻率）

100V至240V-50/60 Hz或12V / 5A .DC