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400-9619-005

EDWARDS泵TS75D1002

產(chǎn)品介紹

完全組裝,隨時(shí)可用

通過(guò)集成的控制器控制渦輪泵、前級(jí)泵和可選的真空計(jì)

NW40、ISO63或CF63入口法蘭

選擇前級(jí)泵、E2M1.5油封泵T-Station 75W或XDD1 隔膜泵T-Station 75D

延時(shí)渦輪啟動(dòng)選件,以便泵送更大容量

T-Station75 是 Edwards 新推出的入門(mén)級(jí)渦輪泵系統(tǒng)。它包括經(jīng)過(guò)實(shí)踐檢驗(yàn)的 EXT75DX,搭配油封的E2M1.5前級(jí)泵或XDD1隔膜泵,適用于需要完全干燥的應(yīng)用。T-Station 使用新的 TAG(Turbo和有源真空計(jì))控制器作為標(biāo)準(zhǔn)配置,可實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)通過(guò)單按鈕啟動(dòng)/停止、可控制其中一個(gè)有源真空計(jì)、排氣閥控制以及在真空計(jì)讀數(shù)匹配時(shí)延時(shí)或降壓?jiǎn)?dòng),因此T-Station非常適合一般的實(shí)驗(yàn)室需求。

英國(guó)Edwards愛(ài)德華從1939年開(kāi)始制造真空設(shè)備直到現(xiàn)在,產(chǎn)品是半導(dǎo)體、平板顯示器、LED 和太陽(yáng)能電池的制造過(guò)程中不可缺少的部分,應(yīng)用于日益多范圍化的工業(yè)過(guò)程,包括電力、玻璃和其他涂層應(yīng)用、鋼和其他冶金、制藥和化學(xué);適用于科學(xué)儀器和許多研發(fā)應(yīng)用。Edwards的技術(shù)專(zhuān)長(zhǎng)和應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)造就了創(chuàng)新型解決方案,可通過(guò)長(zhǎng)期合作和伙伴關(guān)系幫助優(yōu)化制程。

規(guī)格參數(shù)

NW40:42 ls-1

ISO63/CF63:61 ls-1

N2 壓縮比:>1 x 1011

50Hz 時(shí)的前級(jí)泵速度:

E2M1.5  1.6 m3h-1

XDD1    1.2 m3h-1

極限壓力:<5 x10-8 mbar

進(jìn)氣口法蘭:NW40、ISO63 或 CF63

排氣口法蘭:   

E2M1.5  11mm OD 噴嘴或3/8英寸BSP

XDD1    裝配消音器或1/8英寸BSP

重量: 

E2M1.5  22 kg / 48 lb

XDD1    18 kg/40 lb

噪音級(jí)別:55.4dB(A)

密封性:<1 x10-6 mbar ls-1

工作溫度范圍:10 至40°C/50至104°F


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