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THYRACONT真空傳感器VSH系列

VSH系列數字組合真空傳感器測量從大氣壓到高真空的絕對壓力。

產品介紹

VSH系列數字組合真空傳感器測量從大氣壓到高真空的絕對壓力。

性能特點

  • 寬測量范圍:寬范圍組合傳感器 Pirani / Bayard Alpert
  • 準確:良好的準確性和可重復性
  • 抗吹性:Bayard Alpert 具有抗吹性,釔涂層雙絲
  • 堅固:長期測試證實了良好的使用壽命:高達 100,000 次沖擊排氣周期
  • 長壽命:在較低壓力下開啟熱陰極可提高耐用性
  • 智能

技術參數

  • 測量原理:熱傳導皮拉尼/熱陰極 Bayard Alpert, dep.關于氣體類型
  • 測量范圍:1000 - 5e-10 mbar (750 - 5e-10 Torr)
  • max過載:4 bar
  • 精度:1000 - 10 mbar: Approx. 30 % f. r., 10 - 1e-8 mbar: Approx. 10 % f. r.
  • 重復性:10 - 1e-2 mbar: 2 %, 1e-2 - 1e-8 mbar: 5%
  • 發(fā)射電流:9 µA、100 µA、1.0 mA、2.0 mA
  • 脫氣方式:陽極歐姆加熱
  • 反應時間:50 ms(發(fā)射電流切換<2s)
  • 工作溫度:+5...+60°C (Profinet +5...+50°C)
  • 儲存溫度:-40...+65°C
  • 烘烤溫度:max法蘭處 180°C(電源關閉)
  • 供電電壓:20 - 30 VDC
  • 輸出信號:0 - 10 VDC, min. 10 k,測量范圍 1.219 - 8.6 VDC,log.EtherCAT、Profinet 除外
  • 數字接口:RS485: 9,6 kBd to 115 kBd, 8 databit, 1 stopbit, no parity EtherCAT, Profinet
  • 開關點:2x 繼電器,無電位,49 VAC / 2 A,30 VDC / 2 A,max 60 VA,除了 EtherCAT、Profinet
  • 真空連接:DN 25 ISO-KF (VSH87), DN 40 ISO-KF (VSH88), DN 40 CF-F (VSH89)
  • 防護等級:高達IP54(SubD帶XB15SL05適配器)
  • 重量:約 475克 (VSH88)

 


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