SIERRA流量計(jì)SmartTrak 50系列

SmartTrak 50系列經(jīng)過(guò)優(yōu)化，具有長(zhǎng)期過(guò)程控制應(yīng)用所需的穩(wěn)定性、可靠性和操作簡(jiǎn)單性，以經(jīng)濟(jì)的價(jià)格提供高精度和可靠的氣體質(zhì)量流量控制。max流量范圍從50 slpm增加到200slpm。這使得它非常適合控制晶圓清潔和拋光操作中使用的載氣，或PVD和其他半導(dǎo)體操作中的吹掃控制。它還擅長(zhǎng)一般應(yīng)用中常見氣體的質(zhì)量流量控制。模擬和數(shù)字輸入和輸出均可用，使 50系列能夠與較舊的模擬系統(tǒng)或新的多點(diǎn)數(shù)字工具一起使用。零位和跨度的現(xiàn)場(chǎng)調(diào)整使校準(zhǔn)中的小調(diào)整能夠與現(xiàn)場(chǎng)過(guò)程保持一致條件。

• 控制氣體質(zhì)量流量至 200 slpm (nlpm)
• 針對(duì)長(zhǎng)期過(guò)程控制優(yōu)化的穩(wěn)定性和可靠性
• 非常適合控制晶圓清潔和拋光操作中使用的載氣
• 廣泛用于物理氣相沉積 (PVD) 和其他半導(dǎo)體工藝應(yīng)用的腔室吹掃操作
• 精度：普通氣體（空氣、Ar、CO2、CO、CH4、He、H2、O2、N2）的 +/- 1.0% 滿量程
• 重復(fù)性：+/- 0.25% 滿量程
• 先進(jìn)的 316L SS 鉑傳感器技術(shù)和專利 LFE 提供良好的線性性能
• 鋁或 316 SS 流動(dòng)體，帶 Viton 彈性體
• 帶有可選模擬設(shè)定值/輸出信號(hào)的本地顯示和數(shù)字設(shè)定值控制
• RS-232 與 PLC 或工作站輕松連接（提供用戶軟件）
• 現(xiàn)場(chǎng)可調(diào)零位和跨度
• RS-485（可尋址）支持在復(fù)雜半導(dǎo)體工具內(nèi)聯(lián)網(wǎng)
• 強(qiáng)大的直動(dòng)式控制閥可max限度地減少泄漏

• 精度：滿量程的 +/- 1.0%，包括在 32° 至 122°F（0° 至 50°C）和 5 至 145 psig（0.3 至 10 barg）的校準(zhǔn)條件下的線性度，適用于常見氣體：空氣、Ar、CO2 、CO、CH4、He、H2、O2、N2。
• 重復(fù)性：+/- 0.25% of full scale
• 溫度系數(shù)：0.025% of full scale per°F（0. 05% of full scale per °C）或更好
• 壓力系數(shù)：0.01%of full scale per psi（0.15% of full scale per bar）或更好
• 響應(yīng)時(shí)間：2 秒（典型值）到終值的 +/- 2% 以內(nèi)，包括設(shè)置時(shí)間。50系列可調(diào)整為更快或更慢（咨詢工廠）